3 LCoS的关键技术

    综上所述，LCoS是LCD与LSIC相结合的结晶产物。故它具有该两大行业的一般技术特征。但它的特殊结构与机理又决定其特殊的技术要求与特征。

    在制造LCoS过程中，除需原有的液晶和半导体常规成熟的工艺与技术外，还需如下一些的关键技术。

 3.1特殊的材料技术

 （1）特殊液晶混合配方材料

    配制该材料是为了适用于投影电视光源投射时的温度，应能在50℃较高温度下正常工作。为满足视频图像显示的需求，显示材料应有较快的响应速度。为能与仅有1~2μm的盒厚相匹配，显示材料应具有较高的介电常数等。

（2）超常平整度、高导电率、高透射率及低膨胀系数的氧化铟锡（ITO）玻璃基板

    LCoS的液晶盒是由硅片和玻璃基板封接而成，故所用的玻璃基板的膨胀系数需接近于硅片的膨胀系数。由于盒厚仅1~2μm，故表面应很平整，又由于光学和驱动上的需求，其表面的ITO膜层应是高透射率及高导电率。 

3.2特殊的工艺技术  

（1）在制作硅片上

①需在单晶硅基片上制成X-Y像素矩阵下的有源矩阵；
②需在每个有源像点上制成一个要有一定一致性的补偿电容；
③制作遮光层；
④制作1~2μm的盒厚衬垫；
⑤像素表面化学抛光；
⑥像素表面蒸镀反光层；
⑦硅片上的外引线连接。

（2）在制作液晶盒上

①特殊零件的净化操作；
②1~2μm盒厚的控制与封接技术；
③理想的液晶分子定向工艺技术；
④薄盒的液晶灌注技术；
⑤显示模块制造工艺技术。

3.3特殊的设计技术

    特殊的设计技术包括液晶与IC的综合设计与制版。

3.4特殊的检测技术

    特殊的检测技术是控制LCoS质量之关键，LCoS需有一些不同于普通IC和LCD的特殊电参数与光参数的检测技术。还需有专业测试分析软件，其中包括数据回放软件、时域分析软件及频域分析软件。

3.5特殊的配套技术

    LCoS的显示必需借助配套的光路系统方能实现。按不同的用途，可有如下各种方式，它们对LCoS至关重要。

（1）投影系统（前投式或背投式）

长寿命、高效率、高色温及色还原性佳的光源；
起偏光与检偏光系统；
分色镜及循环性光扫描系统；
光路放大、消像差及消色差短焦距光学镜头；
光路高利用率的设计；
高精密结构设计与加工；
降温与控温系统；
屏幕设计与制造技术。

（2）随身看显示装置

    将LCoS显示的小型图像借助光学装置放大成一个直视式大屏幕虚像，是LCoS实现显示的另一种方式。该装置可制成比眼镜还小，使用时可像眼镜一样戴在眼前，经光学装置放大即可将LCoS的显示画面在人的眼前放大成一幅大屏幕虚像。可采用单目显示，用于计算机、个人数字处理机及通信等产品上；亦可采用双目显示，制成眼罩式电视、立体电视及虚拟现实（VR）显示等。可将其简便地装入随身携带的包中，便于随时拿出来观看。其光学装置的关键技术如下：

　① 红、绿、蓝三基色光循环性扫描装置；
　② 起偏与检偏装置；
　③ 消色差与消像差短焦距光学镜头；
　④ 微型精密结构的设计技术。

    上述关键技术有些是可从其他技术中借鉴或移植过来，而有些则必需进行创新。实际上，上述关键技术在国内外研制与开发LCoS过程中业已获得满意的解决。